AL 120-12顕微鏡対応300 mmウェハショベルと顕微鏡システム

Easy operation

操作が簡単

AL 120-12は、完全にカスタマイズされた検査モードと設備設計を含む可用性を強調し、操作性を考慮してバックエンドプロセス専用にカスタマイズする。

•AL 120-12は、FOSB専用のシステムも提供します。

*高いシステム信頼性と継承されたシステムパフォーマンス

AL 120-12は300 mmウェハの安全性と自動化されたマイクロ検査を可能にし、AL 110シリーズ製品の高い信頼性と安全性を維持した。

AL 120-12はオリンパスの安全で信頼性の高いオペレーティングシステムを採用し、反りのあるウェハと超薄型ウェハの間の変換を実現することができる。

•AL 120-12は、操作が容易で高視認性、最適化されたマクロ検査位置、および便利なコントロールパネルを提供します。

専用マクロ照明装置（オプション）

•ユーザーはマクロ照明を選択して*良い照明を提供し、粒子、スクラッチ、フィルムの変動、デフォーカスを検査することができます。

•300 mmウェハの全表面の冷光源照明に使用できる高強度金属ハロゲン化物光源と光ファイバの組み合わせ。

• The combination of a high-intensity metal halide light source and fiber optics allows illumination of a full-surface of 300 mm wafer with cold-light illumination.